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横梁彩色条纹

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发表于 2009-11-7 11:18:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
出炉后,硅棒横梁处有彩色条纹,请问原因?
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发表于 2009-11-7 18:54:25 | 显示全部楼层
估计是氧化的原因
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发表于 2009-11-7 21:49:32 | 显示全部楼层
是氮化,彩色的肯定是氮化
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发表于 2009-12-1 23:10:46 | 显示全部楼层
彩色的是氧化的好不
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发表于 2009-12-2 09:58:42 | 显示全部楼层
怎么只有横梁上面有吗,其他地方有没有呢
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发表于 2009-12-2 11:35:30 | 显示全部楼层
看看断面情况怎样?
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发表于 2009-12-2 22:45:22 | 显示全部楼层
检查炉筒顶部是否有硅油附着,注意炉筒清洗呀
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发表于 2009-12-8 09:27:43 | 显示全部楼层
看了楼主的图片,其实你这样问题是比较严重的,除了有氧化夹层外,还有爆米花,挺严重。
氧化夹层,主要是你的原料纯度不够,有比例较高的水分或是氧,在炉中发生水解或氧化,形成氧化硅,随着沉积的进行,呈现出五颜六色的东西了。
爆米花,就是横梁连接处接触不紧密,造成局部电阻过大,分压过高,温度较高,从而沉积速度快,形成凸起,量大了就是爆米花了。
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发表于 2009-12-8 10:06:55 | 显示全部楼层
氧化,不过看不出硅棒内部,如果是外部只是停炉有问题,如果内部有就问题大了
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 楼主| 发表于 2009-12-9 21:35:08 | 显示全部楼层
谢谢大家的回复。硅棒内部没有氧化,仅在外部,经检查,发现制氢纯化装置的脱氧塔再生温度不够,可能氧含量超标,导致停炉时造成氧化。这是我们分析的原因,后停炉改用回收氢,这种现象消失了。
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