还原炉的加热

发表于 2009-11-3 12:38:49

请问大家还原炉都用什么来预热的？

发表于 2009-11-3 14:17:04

一般是用高压水或导热油来预热还原炉

发表于 2009-11-3 14:50:45

没有用卤素灯来预热的吗？

发表于 2009-12-9 10:02:56

还原炉有两种方式预热，一种是导热油，常用的是T66这种物质。另一种是硅芯击穿的时候，要用辐射加热器给硅芯预热，然后通电启动。给硅芯预热的时候也可以给炉子预热。

发表于 2009-12-12 21:51:18

通常还原炉的预热是由高压水来进行的，至于硅芯的启动有卤素灯辐射加热启动及高压启动两种方式，国内主要以高压启动为主，很多项目开始设计都是采用卤素灯辐射加热启动这种方式，但是考虑到操作比较复杂及氮气气氛下启动还需要赶气容易产生氮化硅最好还是在氢气气氛下高压击穿对产品质量影响较小。

发表于 2009-12-14 08:45:36

5# gmaghd 感谢分享，长见识了！

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