还原炉进料配比的控制

发表于 2009-4-29 11:02:25

从原来的技术资料上了解到还原进料氢气和三氯氢硅的配比为摩尔比10：1，但是我们设计院设计的配比为3.5：1，通过流量控制。但是我们通过其它厂家了解，配比是通过TCS汽化器的压力和温度来控制的，个人认为通过控制汽化器的压力温度是根据气液两相平衡的原理来控制进还原炉混合气体的比例。请问各位专家，进料配比怎样控制更合理、易操作，配比比例到底是多少？

发表于 2009-4-29 11:15:30

只能说是变化的，不是控制一直不变的

发表于 2009-5-6 12:49:52

这个需要考虑的因素就很多了，配比大有大的好处，小也有小的好处，不过10：1这个配比已经被淘汰了，因为氢气转化率很低

发表于 2009-5-6 15:21:03

理论上是3.5：1，但在实际的操作中要根据你的实际情况去调节，一般应在4：1左右。现在都不用汽化器了，直接用气体控制台，效果相当好

发表于 2009-6-8 10:08:40

TCS是过汽化器以后和氢气混合的，我觉得通过流量调节配比简洁实用

发表于 2009-6-8 10:45:32

根据你的生产要求来控制配比，配比直接影响生长速度以及多晶的表面情况综合因素来控制配比一般3.5~5：1

发表于 2009-6-20 23:38:21

我们用的是3.5：1，具体为什么要用这个配比就不知道了。期待哪位高人指点迷津啊？

发表于 2009-6-21 21:06:22

4楼的不用汽化器不可能吧
汽化还得用汽化器的
用气体控制台来调节流量倒是可以的
你们的是不是一台汽化器对多台还原炉

发表于 2009-6-21 21:30:23

不用气化怎么混合呢.不明白

发表于 2009-11-27 14:34:13

TCS不需要汽化器啊，我们用的是气体控制台，氢气和TCS经过气体控制台后在静态混合器里混合，然后进入李比希管，混合气中的TCS液体就是在李比希管里被尾气汽化的，换热嘛。
至于配比，我们开始的时候用3：1，然后随着硅棒不断长粗，逐渐改变，这个也要看具体情况，10几台炉子的配比都不会一样。其实我们也还在摸索中，争取探索出各个生长时期进料配比的最佳值。
希望各位共同分享哦，一起进步！

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