氯化氢脱水

冷冻脱水加分子筛吸收。

冷冻脱水或浓硫酸脱水，再加一个氯化氢除雾工序

请问各位这些方法你们都使用过吗，能起作用吗，分子筛可能刚开始可以用不了多长时间，冷凝绝对打不到要求（10PPM以下）浓硫酸和除雾器那是用在别的工艺上的，在多晶硅上面那是不可能的，我考察过好多三氯氢硅生产厂家这样的方法都是不可取的。