多晶硅反应炉电极漏气如何解决

发表于 2009-11-9 09:34:04

这是新法多晶硅工艺

发表于 2009-11-9 14:03:00

能说么具体什么地方漏气吗？电极和底盘之间，还是电机本体？

发表于 2009-11-10 12:46:26

你可以介绍一下你们的电极密封圈、套筒是哪种材料？我们做过优化的也许可以探讨？

发表于 2009-12-11 21:51:24

1# hfhsd
停炉检修
不然越漏越大

发表于 2009-12-13 20:27:06

问题太笼统了，可以将问题更具体些，然后可以集体讨论！

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册