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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 还原炉操作压力对硅沉积的影响

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还原炉操作压力对硅沉积的影响

发表于 2011-12-15 17:10:29 | 显示全部楼层

压力越高越容易沉积

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发表于 2011-12-15 17:07:00 | 显示全部楼层

回复 5# luoye888
同意。研究表明：压力高肯定是会提高沉积速度的（见多晶硅工艺学上相关介绍），原理应该以动力学来解释了。

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发表于 2011-12-16 21:11:22 | 显示全部楼层

调整的是炉内压力？现在系统是几公斤？

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