出炉的多晶硅显现黑色，还有部分是深浅不一的黑色灰色，请问这是什么原因？

发表于 2009-12-1 16:45:13

出炉的多晶硅显现黑色，还有部分是深浅不一的黑色灰色，请问这是什么原因？进料的三氯氢硅都是合格的，元素含量基本都在10ppb以下。

发表于 2009-12-1 17:37:46

难道是长出非晶层了？
还是气相生成硅粉又吸附到硅棒上了....

发表于 2009-12-9 15:25:24

靠近气口的出来很多，内层的棒很严重。工艺上的说是由于活性炭的原因导致回收氢中某些元素很大。

发表于 2009-12-9 15:26:52

但是问题是检测完似乎颜色和他们判定的又不完全一致，现在硅棒颜色不黑了，但是依然出现的是元素含量很大，猜想是不是和氮气有关？

发表于 2009-12-9 16:31:15

有可能是停车没停好，产生一些低温硅;再检查下你们的氢气纯度和管道系统有无污染混杂进来的可能

发表于 2009-12-9 21:13:38

我们也出现过。有几个怀疑：进料量大，温度低，形成低温硅；回收氢中甲烷含量高，和碳反应了？总之，没有找准原因，但采取了对应的措施，后来硅棒表面又正常了。仍然担心，这种现象还会出现。

发表于 2009-12-13 15:58:25

貌似和氢气中甲烷的含量不低，不过现象是一直存在的，不明白为啥他们降不下来，咱检测人员，很多工艺参数不会告诉咱的，问了只会给一些误导。现在不咋黑了，但是甲烷含量还是那样大，感觉最大可能是停炉问题吧，

发表于 2009-12-17 20:26:48

进料孔，尾气孔有很多硅粉吧。

发表于 2009-12-19 19:27:23

请大家指教一下怎么会有CH4在系统中呢，是还原炉内生成的副产物吗？？

发表于 2009-12-19 20:03:27

9# 28125345
只能说有这种可能，还有就是合成车间可能含有甲烷哦

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