硅棒在生长过程中出现像苦瓜皮一样的条纹状是怎么回事？

发表于 2009-11-9 13:49:06

现在我们的硅棒长的长的的就出现从上到下都出现了条纹状 不知道是怎么回事到了后期条纹状就不怎么明显了

发表于 2009-11-9 13:59:02

我不是搞还原的，不知道是不是流量不稳导致的

发表于 2009-11-9 21:16:00

气量不稳定，按照正常生长曲线应该不会有这样的问题

发表于 2009-11-9 21:45:39

这个我也见过，当时在现场问老外，他们说可能是汽化不够，三氯氢硅液体喷进去了

发表于 2009-12-15 21:11:10

把温度放低点就好了
我试过的

发表于 2009-12-22 14:12:52

的药多久才能恢复的过来，温度降到多少合适 5# 16981565

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