有那位高手指点一下

发表于 2009-11-10 09:48:35

本帖最后由功夫98748 于 2009-11-10 10:40 编辑
那位大侠指点一下，还原炉开出的产品，是料不纯还是氢气有杂质。谢谢哦

发表于 2009-11-10 10:27:48

你之前的吹扫没有做好，导致里面的水汽比较的大，会和硅烷进行反应，产生的物质就是黄色的。
还有一种可能是你的炉底盘漏水了。
另外的可能是在你停炉之后有硅烷液体积在炉底，在你开炉的时候就和空气反应了。你应该可以闻到很浓的气味的。

发表于 2009-11-10 10:53:00

谢谢，不是黄色的是蓝色的，什么原因。请指点谢谢

发表于 2009-11-10 12:38:22

本帖最后由南希于 2009-11-10 12:40 编辑
蓝色的可能是氮化啦，是不是氮气置换不干净。另外你们硅芯表面的杂质可能是管道置换不干净，开始的时候应该像绒毛一样的东西吧？

发表于 2009-12-9 17:04:32

惨不忍睹啊......！你那系统清洗干净没？吹露点了没有？反应物料纯度怎么样？棒子表面看上去怎么有点像硫化物？

发表于 2009-12-23 20:18:52

感觉像微量水汽进入

发表于 2009-12-24 08:24:40

取样去做一下分析看是氮化物还是硫化物

发表于 2009-12-24 10:59:50

露点没吹好，LZ怎么停炉的？

发表于 2009-12-24 11:01:10

黄色的也是硅，不正常停炉造成的

发表于 2009-12-24 14:31:57

低温硅，我见多了黄色低温硅蓝色的你去酸洗腐蚀掉的就是氧化硅腐蚀不掉就是氮化硅

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