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四氯化硅还原成硅,炉内压力和温度是多少。

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发表于 2009-12-29 10:55:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
四氯化硅还原成硅,炉内压力和温度是多少。此工艺国内有厂家在用和生产吗?
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发表于 2009-12-29 12:43:24 | 显示全部楼层
请楼主说清楚那种方法的工艺条件
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发表于 2009-12-29 13:37:34 | 显示全部楼层
还没听说过有,LZ用的是什么方法?转化率有多少
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 楼主| 发表于 2009-12-30 17:50:02 | 显示全部楼层
我听说永祥在用这个工艺。
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发表于 2009-12-31 08:53:20 | 显示全部楼层
有在生产的,不过都是小线
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发表于 2009-12-31 09:13:56 | 显示全部楼层
四氯化硅混在三氯氢硅里做多晶硅,条件很难控制,温度高一点,硅就软化了,温度低一点,就没沉积速率了,甚至可能出现腐蚀的逆反应
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