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清洗还原炉的用水和方式一定要严格要求吗?为啥?

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发表于 2010-1-9 21:14:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
这几天出现水源供应问题,所以导致还原炉内清洗不能用纯水,而是采用自来水清洗,请问这样清洗会导致什么现象?对多晶硅的质量有大的影响吗?原因是啥?咱知道是炉内越干净越好,但是不知道这样的影响有多大?请各位指教一二。
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发表于 2010-1-10 11:54:32 | 显示全部楼层
合格产品的多晶硅的纯度到少在7个9以上,清洗过程必须用高纯水,如果用自来水,那还不如不清洗。自来水中的杂质可能会给产品带来难以估计的污染,因为普通水中的无机杂质对于生产高纯物质而言,已经是非常高的程度了。
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发表于 2010-1-11 11:03:41 | 显示全部楼层
自来水中有杂质,而且也洗不干净。
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发表于 2010-1-11 18:38:36 | 显示全部楼层
如果不是纯水,自来水中含有大量杂质必然影响多晶硅纯度。
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 楼主| 发表于 2010-1-11 22:28:46 | 显示全部楼层
恩,谢谢我已经转达你们的意思了,没人管他们,我只好上网帮他们查查了,
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