SIHCL3的转化率

发表于 2010-1-5 21:09:22

在多晶硅的生产中还原SIHCL3和氢化SICL4的转化率一般都是多少啊？
有没有什么公式可以计算呢？

发表于 2010-1-6 06:55:25

还原SIHCL3的转化率15%左右，
氢化SICL4的转化率20%左右.

发表于 2010-1-6 08:41:32

各比二楼低几个百分点……
惭愧啊

发表于 2010-1-6 08:49:32

还原SIHCL3的转化率15%左右，
氢化SICL4的转化率20%左右.
feibiao101 发表于 2010-1-6 06:55

登录/注册后可看大图
怎么控制的？这么高？佩服

发表于 2010-1-6 06:55:00

他说的是理论的数值。

发表于 2010-1-6 10:16:44

嗯，是很不错的转化率

发表于 2010-1-6 10:27:05

谢谢各位的回复，我们单位的SIHCL3转化率才10.5%，SICL4的转化率是15%

发表于 2010-1-6 19:59:07

转化率要15%左右?
我这的!!!!!! 完了

发表于 2010-1-6 21:01:02

15%是不错就是了，如果沉积速度和转化率高就更好了

发表于 2010-1-18 22:13:10

要做15%的收率一点也不难，TCS进料降下去，氢气配比增大，转化率自然就高了，对于电费便宜的地区，完全可以用高电耗来换高收率，最后的总成本可能比电费高电耗低的厂还低，因为后续负荷也随之降低了，尤其采用热氢化的，后期负荷降低也意味着电耗能够在氢化过程中找回一点平衡

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