西门子法生产多晶硅的硅芯点亮问题

发表于 2010-1-29 12:26:12

各位多晶硅生产的同仁们，谈谈你们对西门子法生产多晶硅的硅芯点亮问题的看法吧。

发表于 2010-2-2 17:30:46

生产高纯硅最好采用高压启动，对电气设备和绝缘的要求比较高，另外还原炉钟罩的冷却水入口温度要提高到90度以上
也可以采用等离子加热器预热，但是拆装麻烦，容易带入杂质
不建议使用硅芯掺杂，会对硅棒的品质产生严重影响

发表于 2010-2-4 19:32:46

如果硅芯不参杂，那高压击穿的电压需要多大啊？我们硅芯参杂，12KV有时都难以击穿啊！
等离子预热是怎样的，讨教啊。
带入杂质？不会吧？做好氮气置换应该没问题吧。

发表于 2010-2-5 12:07:44

用加热棒预热后启动只能算是中压启动！而且操作相当麻烦，远比不上等离子预热方便快捷，只是等离子预热需要对等离子氮气的纯度要求比较高些！

发表于 2010-2-6 08:25:43

用加热棒预热后启动只能算是中压启动！而且操作相当麻烦，远比不上等离子预热方便快捷，只是等离子预热需要对等离子氮气的纯度要求比较高些！
学海狗刨发表于 2010-2-5 12:07

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氮气等离子是用什么方法发生的啊？感应耦合？

发表于 2010-2-5 12:07:00

10KV击穿很快的，大概十几分钟就搞定了!

发表于 2010-2-6 10:09:59

我们用的预热棒加热击穿，太麻烦，对操作要求很高，一直对别的启炉方式很感兴趣，希望哪位大侠能分享一下。

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