硅棒棒体惊现黑色雪花状附着物？？？

发表于 2010-1-13 20:26:37

硅棒在生长过程中发现棒体有黑色雪花状附着物（棒体上部尤为突出）！开炉后为雪花刺状！
所有还原炉进料均为同一个TCS储罐提供，其他还原炉未发现此种现象！这是什么原因造成的？？
还请各位大虾知无不言，言无不尽。也可加我为好友，共同探讨！谢谢~~

发表于 2010-1-14 08:45:35

LZ 能不传张照片来看下？

发表于 2010-1-14 09:03:42

该台还原炉的进料口大小、类型和分布，以及流量分段控制是否和其他炉子一样？

发表于 2010-1-14 09:58:51

是不是温度低了生成了无定型硅

发表于 2010-1-14 10:14:45

请楼主发照片叙述可能与我们理解的不一样

发表于 2010-1-15 03:41:58

1# 巴适惨了
不好意思，忘了拍照，呵呵！！
温度，流量和其他炉子都差不多！我们用的是光学测温仪，每个人测得的温度肯定有些差异！
进料喷嘴每台炉子都不同！是否是控制中出现问题，副反应过多？？

发表于 2010-1-15 08:43:04

应该是温度控制低了，操作未必每个人都那么精心！

发表于 2010-1-16 23:23:28

不是简单的操作问题，我们也遇到过这么的情况，一样的炉子，一样的配比，一样物料来源，为什么有时候一台炉有呢？所有的条件都用一样，除了用的硅芯以及沉积之前的置换不一样外，还得好好考虑一下，我们也还没有解决，不过还好这种现象非常少。

发表于 2010-1-18 15:25:57

生长后期温度控制过低导致
楼主的炉子是高压启动还是等离子启动的

发表于 2010-1-18 16:05:47

1# 巴适惨了
高压启动啦，好像国内采取高压启动的占大多数，简单实用~~但是什么启动方式和炉内硅棒长成这个样子没什么关系吧

我觉得是温度原因所致！但是好像现在硅棒生长全过程的监控仪器没什么好的，这是个问题！靠人看、感觉、测量，差异性很大就是了

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册