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硅棒上的“爆米花”现象

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发表于 2009-11-12 16:56:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
U形硅棒的顶部表面容易出现“爆米花”结构。爆米花现象形成的原因有哪些?大家讨论一下。
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发表于 2009-12-10 08:49:29 | 显示全部楼层
因为横梁连接不紧密,不符合要求,导致连接处局部电阻过大,分压过高,温度就会很高,此处的沉积速度就会很大,容易形成凸起,很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧,把横梁架在上面就是,最好的做法是在硅芯上部打锥形孔,然后把横梁的两端打磨成锥形,这样连接起来就比较紧密,对爆米花的形成有很好的防范。
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发表于 2010-2-1 22:33:35 | 显示全部楼层
因为横梁连接不紧密,不符合要求,导致连接处局部电阻过大,分压过高,温度就会很高,此处的沉积速度就会很大,容易形成凸起,很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧,把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                                
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学习了,真是高人一个
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发表于 2009-12-10 08:49:00 | 显示全部楼层
因为横梁连接不紧密,不符合要求,导致连接处局部电阻过大,分压过高,温度就会很高,此处的沉积速度就会很大,容易形成凸起,很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧,把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                                
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学习了,谢谢分享
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发表于 2010-2-2 08:41:49 | 显示全部楼层
因为横梁连接不紧密,不符合要求,导致连接处局部电阻过大,分压过高,温度就会很高,此处的沉积速度就会很大,容易形成凸起,很多个凸起就形成了爆米花。
看样子你们那个横梁是在硅芯上开V槽吧,把横梁架在上面就是 ...
情合赢 发表于 2009-12-10 08:49

                                
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在横梁上开孔然后加工硅芯顶部,除了要加工硅芯本体之外,还要加工横梁,增加了加工成本
另外,即使是开孔插进去,也根本没法保证其中是紧密的面接触,因为以硅的硬度来说,根本无法做到如此的加工精度,否则就是加工成本高,所以,这种方式还是线接触甚至也只是点接触,局部电阻还是过大,改善的效果不会非常好
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发表于 2009-12-10 08:49:00 | 显示全部楼层
横梁的问题是不是只影响到横梁那一块呢?我觉得炉内的流场对爆米花的形成也会有影响,比如棒旁边小涡流的存在是肯定会影响沉积的。
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发表于 2010-2-2 10:56:21 | 显示全部楼层
一般都是U形硅棒的底部(凹)表面容易出现“爆米花”结构吧
顶部出现爆米花结构
有点怪
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发表于 2009-12-10 08:49:00 | 显示全部楼层
应该是温度控制的不是太好,内部热场不稳定,或者是硅芯的表面不光滑,形成密集电流,造成硅体的局部长大造成的,不是做还原的,根据晶体生长的的原理推测的 7# 251969824
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发表于 2010-2-2 11:52:19 | 显示全部楼层
这问题现在还有人不知道呢?
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发表于 2010-2-2 16:06:26 | 显示全部楼层
我觉得跟后期时,顶部温度过高,反应速度快,沉积量大带来的。
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