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如何除去原料气中的氮气

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发表于 2009-12-27 16:20:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
由于生产多晶硅的原料气中含有一定的氮气,可能影响多晶硅的纯度,那么如何除去其中的氮气呢?有没有简单实用的方法?
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发表于 2009-12-27 18:07:16 | 显示全部楼层
那就用H2置换啊,一般科学依据为置换5次,从5bar-1bar
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发表于 2009-12-28 08:52:29 | 显示全部楼层
原料气中有多少氮气?如果是TCS中含,则可以考虑加个蒸发-冷却装置,首先将TCS汽化,然后冷却,冷凝物为除氮的TCS,不凝物就是N2和少量TCS;如果是氢气中含N,用二楼的置换就行了
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发表于 2010-1-8 19:28:17 | 显示全部楼层
1# maohaibo
我对工艺不明白,但在制氧过程中,利用分子筛吸附氮气,你可以询问一下,是否或以采用分子筛吸附氮气。
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发表于 2010-2-3 09:12:46 | 显示全部楼层
如果是回收氢气中氮气含量超标,只需要定期排放就可以了,补充新的电解氢气
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发表于 2010-2-3 13:59:16 | 显示全部楼层
要看你是在哪个工段了,还原这块你用H2置换就可以了。。。
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发表于 2010-2-4 02:54:06 | 显示全部楼层
用分子筛就可以除去氢气中的氮气。我们公司上了一套除氮装置。用的就是分子筛。是四川天一科技的。利用变压吸附,除氮!要求加分!
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发表于 2010-2-4 14:13:27 | 显示全部楼层
关键是找进入氮气的原因
炉子,设备投系统时置换不干净,还是本身就有泄露的地方
补气,放尾气一定程度上增加了生产成本
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发表于 2010-2-5 11:59:20 | 显示全部楼层
我们这是在TCS进炉之前先用汽提塔将TCS中的氮气除掉,如果你们的工序中没有汽提塔的话,那可能就比较麻烦了~~~
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发表于 2010-2-5 15:13:27 | 显示全部楼层
用氢气使劲  使劲的吹哦
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