TCS合成炉内的成分

发表于 2010-2-23 22:25:13

TCS合成炉内的成分，到底有哪些呢？能列出来更好，谢谢！

发表于 2010-2-23 23:01:07

主要有生成的各种氯硅烷，比如：三氯氢硅，二氯二氢硅，四氯化硅等
以及未完全反应的氯化氢
还有就是微量的各种气态的金属、非金属氯化物。

发表于 2010-2-28 13:04:43

氢气都不说啊？
会不会有氮气呢？
小心哦。。。。

发表于 2010-2-28 13:17:09

刚开始的时候有
等真正反应起来就就应该置换完了

发表于 2010-2-28 18:15:23

除了上面说的外，还有各种尘埃，比如硅粉，不过这些东西通过旋风分离和布袋除尘都可以解决掉。

发表于 2010-2-28 20:08:55

谢谢了！很感激有人还在关注！

2# wuht0

发表于 2010-2-28 20:10:40

总之谢谢你的关注，我已经找到答案了！ 3# 炸你象猪头

发表于 2010-2-28 20:11:35

谢谢你的关注，我已经找到答案了！ 4# wuhao3690

发表于 2010-2-28 20:12:33

谢谢你！你的这个提醒对我的帮助很大！真的很感谢你！

5# 情合赢

发表于 2010-3-1 09:43:43

有氮气就麻烦了，后面的工序就含有氮气！

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