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怎样计算H2/SIHCL3的配比

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发表于 2010-2-4 11:04:19 | 显示全部楼层 |阅读模式
比如 我的蒸发器温度设定为32度,请问H2/SIHCL3的配比怎么算啊?请指教哈~~~~~~~~~~~
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发表于 2010-2-4 16:51:00 | 显示全部楼层
本帖最后由 liujianzhang1 于 2010-2-5 09:05 编辑
在32度时三氯氢硅的饱和蒸汽压大概是0.1Mpa,如果要控制氢气和三氯氢硅的配比,需要控制混合气的压力,例如:要求氢气:三氯氢硅=4:1(mol)则混合气压力要控制为4*0.1+0.1=0.5Mpa,关键是计算三氯氢硅在各个温度下的饱和蒸汽压,这个数据是很难得到的。
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发表于 2010-2-6 14:22:00 | 显示全部楼层
用质量流量计,什么都解决了
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发表于 2010-2-6 15:39:21 | 显示全部楼层
用质量流量计,什么都解决了
dingdaliang 发表于 2010-2-6 14:22

                                
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对极了!沉积速率和转化率关键看Cl/Si  与 Cl/H的比。看下图:

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 楼主| 发表于 2010-2-6 14:22:00 | 显示全部楼层
图不咋看的懂哦???????????????????????
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发表于 2010-2-7 08:45:07 | 显示全部楼层
图中的Cl/Si和Cl/H是什么意思?
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发表于 2010-3-1 20:15:26 | 显示全部楼层
算摩尔数,用质量流量计,三氯氢硅YOKOGAWA的或者E+H的brokhorst的
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发表于 2010-3-2 20:44:59 | 显示全部楼层
上面的那个图,什么意思?是不是指三氯氢硅和氢气的比列与多晶硅的生长速度的曲线图哦?
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发表于 2010-3-3 10:35:30 | 显示全部楼层
6# Gabriel13hit
应该是 分子式中 原子数之比
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发表于 2010-3-3 12:40:45 | 显示全部楼层
本帖最后由 shamoquan 于 2010-3-3 13:49 编辑
根据温度,对照三氯氢硅的饱和蒸汽压曲线,查得该温度下的三氯氢硅饱和蒸汽压,然后看要控制的氢气/三氯氢硅比例(体积比,x/1)是多少,则总压(绝对压力)就是三氯氢硅饱和蒸汽压乘以(x+1);反过来,如果知道总压是多少,就知道氢气和三氯氢硅的比例是多少。
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