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三氯氢硅合成的原辅物料要求

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发表于 2010-1-26 13:27:09 | 显示全部楼层
原料硅粉的目数应该比较重要,HCL中氢气过量会影响TCS的反应速率,影响产出量。
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发表于 2010-1-29 09:25:28 | 显示全部楼层
应该是合金硅的粒度与干燥程度要求比较关键
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发表于 2010-2-3 17:21:09 | 显示全部楼层
与硅粉的质量也有关系吧
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发表于 2010-3-9 14:24:45 | 显示全部楼层
买入的硅粉对硼、磷有要求,精馏生产工序除硼、磷是关键,其中有的多晶硅厂对铝还有要求
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