还原炉视镜发黑问题

发表于 2010-2-9 18:47:39

还原炉视镜在硅棒生长过程中容易玷污，特别是后期和顶部视镜，很容易烧黑。如何才能有效的减少和消除这种现象，请问各位前辈如何处理的？

发表于 2010-2-9 20:40:12

把试镜水关了~氢气吹扫也关了~保证不黑了
不过这么干了会不会试镜爆了我就不管了哈
嘿嘿

发表于 2010-2-11 20:29:59

视镜内温差太高是不是导致晶片发黑的原因之一呢？

发表于 2010-2-22 12:54:28

我们这里也有这个情况出现，，我们公司专家说的是什么低温硅沉积在试镜上面所致，具体也没有上面办法解决，主要还是控制温度哈！

发表于 2010-3-1 19:56:21

是无定形硅在上面沉积引起的，有专家建议的做法是加大吹扫氢。

发表于 2010-3-2 09:32:14

是不是氢气量小了，或是水温太低了？

发表于 2010-3-2 10:55:16

你们视镜口试什么样的啊？内部是喇叭口么？能否告诉我还原炉是哪家的？不会又是开原吧？视镜口有少许沉积还算正常，但是如果多了，可以算不正常了！

发表于 2010-3-2 19:46:45

我们做了电刷子,挺好用的

发表于 2010-3-2 22:29:01

我个人认为可能是试镜那温度相对较低，升华的硅凝华成细末，聚集，所以呈现黑色。可能无法避免，若可以对试镜加温，减小它与炉内环境温差应该可以抑制该现象。

发表于 2010-3-3 08:17:29

静听前辈指导!以为9楼前辈所言及是。

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