请明白人介绍一下多晶硅生产中都用哪些设备？

请明白人介绍一下多晶硅生产中都用哪些设备？
越详细越好，最好能按已建成项目中的设备列出个详单，谢谢了。。。。

公用工程  循环水泵 空压机 制氮机  纯化系统
精馏 精馏塔 屏蔽泵 计量泵
还原 多用热水循环泵 还原炉
后处理：对硅芯进行整形的设备 硅芯炉 清洗机
尾气回收 压缩机 冷冻机

这个太多了。。。。详细的话有几百。
罐区有三氯氢硅储罐、四氯化硅储罐、残液罐、废气罐、低沸物罐、氮气缓冲罐、应急罐。。。。。
提出有原料三氯氢硅储罐、精馏塔、还有每一套塔附属的再沸器、进料预热器、塔顶冷却器、塔顶冷凝器、尾气冷却器、低沸物储罐、高沸物储罐、精制三氯氢硅储罐、氮气缓冲罐、空气缓冲罐……
还原有汽化器系统、还原炉、进料预热器、尾气冷却器、夹套水系统、电极水、地盘水、停炉水等
还有回收系统、公用工程等。。。。太多了