关于夹层

发表于 2010-3-10 12:28:42

我是个菜鸟，我想知道多晶硅生产中什么是夹层，还有温度夹层，氧化夹层？这些概念我都模糊的知道，各位能不能给我一个比较完整的概念啊，谢谢！

发表于 2010-3-10 13:57:27

没有什么完整的概念吧
自我认为：还原过程中因为操作，物料杂质，工艺参数剧变引起的多晶硅质量的变化，在硅棒中留下类似于树的年轮的层状结构就是夹层。有温度夹层，氧化夹层，镜状夹层，N化夹层等等
看看这个帖子吧
https://bbs.hcbbs.com/thread-628946-1-3.html

发表于 2010-3-11 10:28:54

谢谢LS 哈！！！！！

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