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还原反应物料,温度,气体流量对反应的影响

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发表于 2010-3-11 22:53:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位能不能给小弟具体讲讲多晶硅还原反应过程中反应温度,配比和气体流量对还原反应的影响,越详细越好,谢谢!
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发表于 2010-3-13 18:39:18 | 显示全部楼层
这个要讲的话听麻烦的啊,我也是刚弄这个,书本上介绍了一些,但到了实践上却差强人意啊,呵呵,温度1050到1100,配比一般是三比一到五比一啊,流量刚投产不能太大啊,慢慢加啊,具体影响的挺多,涉及到氧化夹层,温度夹层,还有再生产过程中的提速和提高电流,等等挺多,一下也说不清,你买一本书吧,去年五月分出版了一本书,到网上能买上了
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