求助：硅芯氧化或氮化

发表于 2010-3-15 16:49:56

请问各位，硅芯（硅芯槽也有颜色）氧化或氮化的成品，您们是怎么处理，再拿去卖给下游厂家的。

发表于 2010-3-15 23:25:03

硅芯？？氧化氮化的硅芯用不得了

发表于 2010-3-16 11:10:46

这个氧化或氮化硅芯能否继续沉积呢？

发表于 2010-3-16 12:27:08

多孔硅的阳极氧化表面处理工序和干燥处理工序，前道工序：在腐蚀槽2内实施，把湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片6悬置于腐蚀槽2内，向腐蚀槽2注入H2O2水溶液3，通电进行阳极氧化；后道工序：清洗和用常规的干燥方法干燥经前道工序处理的湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片，制得干燥的多孔硅成品

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