化验分析：如何分析混合气氢气和三氯氢硅的配比

发表于 2010-3-19 20:42:54

多晶硅生产过程中，如何保证混合气体进料取样时能最准确的分析出来，要在三氯氢硅不冷凝的情况下测量出三氯氢硅和氢气的配比，一般用什么措施

发表于 2010-3-19 20:59:27

这个看上去是还原工段的内容，我也不是很了解，我的理解是，在一定温度下，三氯氢硅和氢气的压强是恒定值的，这时只要能测得某一时刻气体的流量，就能计算出它们之间的配比，很方便的

发表于 2010-3-22 16:06:40

直接将混合气通入气相色谱仪内，根据峰面积分别计算出三氯氢硅和氢气的体积含量

发表于 2010-3-22 21:13:32

直接将混合气通入气相色谱仪内，根据峰面积分别计算出三氯氢硅和氢气的体积含量
zhangrang 发表于 2010-3-22 16:06

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如果要分析检测的话，一定是要用气相色谱仪的，但是楼主的问题看上去是如何取样，不可能接根管子去质检部，我觉得这个配比不必太过精确，氢气总是要多一点的，一个流量计应该可以解决的

发表于 2010-3-22 16:06:00

用质量流量计确定

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