影响多晶硅质量的因素都有哪些？

发表于 2010-3-22 21:54:03

大家都讨论哈啊，针对多晶硅生产中的各工段影响产品质量的方面，人为的和工艺的都说说。互相学习达到提高产品质量的目的

发表于 2010-3-22 23:05:19

偶认为首先各种物料纯度要达标氢气99.99% 三氯氢硅99.9999%
其次工艺管道及设备洁净度要达标
最重要的是尾气回收要搞好

发表于 2010-3-23 00:57:13

楼上好像说反了吧

发表于 2010-3-23 01:38:34

看来你是做尾气回收的喽，， 2# 453305634

发表于 2010-3-23 07:36:36

尾气回收单元回收的原料如果纯度不够再进入炉内反映产品质量肯定受影响
我觉得尾气回收好但我不是那里的

发表于 2010-3-23 07:49:45

主要精馏产品合格了，下面的就好做了！精馏过程中主要去除P、B！
做好这个就应该没有什么问题了！

发表于 2010-3-23 09:05:05

偶认为首先各种物料纯度要达标氢气99.99% 三氯氢硅99.9999%
      其次工艺管道及设备洁净度要达标
   最重要的是尾气回收要搞好
453305634 发表于 2010-3-22 23:05


登录/注册后可看大图三氯氢硅需要这么纯吗？这是做电子级硅的吧？

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