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ICP在多晶硅中的应用

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发表于 2010-3-25 16:34:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
ICP分:光谱和质谱。在多晶硅中的应用有什么不同?都是分别测量哪部分的?都有哪些国外知名的厂家?
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发表于 2010-3-25 20:00:04 | 显示全部楼层
我们这里用ICP就是测定TCS里面B的含量的!
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