三氯氢硅合成时，怎样减少三氯氢硅中硼、磷杂质呢？

发表于 2010-3-24 19:47:59

怎样减少合成的三氯氢硅中硼、磷杂质呢？

发表于 2010-3-25 07:37:59

首先应该从原料入手，降低原料的硼、磷含量。

发表于 2010-3-25 10:45:10

本帖最后由 hht666 于 2010-9-28 10:45 编辑
use activated carbon

发表于 2010-3-25 13:30:26

石油沥青作原料的活性炭，不适合用在多晶硅行业

发表于 2010-3-25 16:12:14

合成工段想减少硼、磷杂质的含量似乎只能从原料入手，之后再用专门的除硼、磷方法降低其含量，比如湿氮法等等

发表于 2010-3-25 20:02:34

吴羽公司提供球形活性炭（bead-shaped activated carbon, BAC），可用于三氯氢硅提纯，具有如下优点．
　　　1 由于为球形, 流动性能好, 阻力小．
２比表面积大，吸附效率高.
３强度高、耐磨性高、粉尘量极低,避免堵塞管路.
４纯度高, 主要为碳元素,因为原料为石油沥青, 与煤质和木质活性炭相比, 杂质元素少,避免污染精制产物.
５能显著降低三氯氢硅中杂质如硼，磷的含量，可以减少精馏塔数，降低生产运行成本．
球形活性炭的各项指标可见网站　http://www.kureha.com.cn/bac.html　，国外有公司正大量使用.
请问能够到达什么样的水平啊？多少个ppb

发表于 2010-3-26 17:29:27

经纯化后,能生产电子级的多晶硅

发表于 2010-3-29 09:35:51

湿氮法和湿氢法均不可行，系统引入考虑水之后，氯硅烷水解后管道更容易发生堵塞

发表于 2010-3-29 09:45:08

石油沥青作原料的活性炭，不适合用在多晶硅行业
为什么? 阁下做过实验吗

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