谁能提供些多晶硅生产工艺的一些资料吗？

发表于 2008-10-8 18:41:20

恳求各位同仁提供一些多晶硅生产工艺的资料
多谢啊
急需！

发表于 2010-4-11 17:33:54

这个东西少有，一般是没有比较权威的流传在外

发表于 2010-4-13 17:31:53

三氯氢硅合成系统包括：1，硅粉加料装置，2，三氯氢硅合成炉，3，旋风干法除尘，4，过滤装置，5，STC湿法除尘，6，合成气分离回收（CDI）等工序。

发表于 2010-4-13 18:13:07

我们单位倒是做过这中项目，但是目前手头没有、

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