多晶硅脱盐水及高纯水系统

一、脱盐水站
2.1 原水箱
设置100M3，SUS304原水水槽，可以泵送预处理单元。
2.2多介质过滤器
源水由砂滤塔将水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20μm以上对UF膜有害的物质去除，用以确保后续设备无堵塞之虞；过滤器罐体为碳钢衬胶。
2.3 袋式过滤器
袋式过滤器主要用于保护超滤装置。
2.4 超滤装置
预处理装置主要为超滤装置，超滤膜分离出水水质好。
2.5 超滤水箱
设置50M3，SUS304超滤水槽，可以泵送RO单元。
2.6 活性碳过滤器
设置活性碳过滤器,过滤器罐体为碳钢衬胶，内装精选的椰壳活性炭, 目的是为了去除水中的各种胶体、色素、异味、大量生化有机物、余氯。
2.7 热交换器
采用换热器，以保证水温稳定运行。
2.8 保安过滤器
设置5um精密过滤器去除5um以上颗粒物，保护RO系统。
2.9 一级RO系统
预处理好之水，由高压泵将水压增加至10kg/cm2以上进入RO膜管，RO膜就好像是一个屏障，将水中剩余的盐类和有机质，无机物去除。当水进入膜中，会分为二部份，一部分为纯水，另一部分为浓缩水。浓水部分回用。
2.10 一级RO水槽
RO水贮存在一级RO槽内，送至二级RO单元。
2.11 二级RO系统
一级RO产水，由高压泵将水压增加至10kg/cm2以上进入RO膜管，RO膜就好像是一个屏障，将一级RO 水中剩余的盐类和有机质，无机物去除。达到工艺水要求。浓水回用。
2.12 脱盐水精处理系统
通过精处理系统，消毒过滤送至工艺用水单元。
2.13 冷凝液处理系统
通过冷凝液系统，回收冷凝液送回一级RO单元
二、 高纯水站
2.14 MDG
在此处设置MDG是为了有效地去除水中的溶解氧，使其达到小于5ppb的出水要求，该系统附设氮气添加装置及真空泵和相应的真空泵循环冷却系统。
2.15 TOC-UV-1
利用TOC-UV来降解水中的有机碳，同时，具有杀菌作用。
2.16 EDI
进一步去除水中的离子，使水达到15 M.cm以上。
2.17 超纯水槽
15M.cm之纯水贮存在DI槽内，经后段精制单元，再做进一步处理。
2.18 热交换器
采用换热器，以保证水温稳定运行。
2.19 TOC-UV-2
利用TOC-UV来降解水中的有机碳，同时，具有杀菌作用。
2.20 MB-P-1
利用抛弃式树脂将水质进一步精制18M.cm以上，此种树脂每半年更换一次。
2.21 MB-P-2
利用抛弃式树脂将水质再进一步精制18M.cm以上，此种树脂每年更换一次。
2.22 UF
过滤器将MB-P水中可能含有之破碎树脂过滤掉。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-14 17:25 编辑 ]

不错,学习了
袋式过滤器好象应用于脱盐水的不多,

不知高纯水指标如何？

电阻率18 Mohm*cm  TOC 20 ppb

好奇怪的工艺，既然用了超滤为什么还要用多介质和活性碳过滤器，如果用超滤做为RO的预处理，就用盘滤＋袋滤＋超滤就可以了。而且TOC是185的波长，主要作用是降解TOC，没有杀菌的作用。还有做多晶硅的脱盐水做脱气膜和TOC都没必要，用水要求没那么严格。

2# zjsmh
我觉得高纯水系统是不是还有杀菌装置呀！

很多设备都是重复的，没意义像袋式过滤器
、超滤等

谢谢楼主提供，学习了。

谢谢分享，学习了