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电阻率和硼、磷含量的关系

发表于 2010-4-16 11:12:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

多晶硅的电阻率和硼、磷含量有一定的关系，如何计算，请高手指教

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发表于 2010-4-16 11:50:00 | 显示全部楼层

这个问题我也很想了解下。。。。。。。。。。。。。。。

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发表于 2010-4-16 11:59:46 | 显示全部楼层

是测得的吧
然后总结规律。
应该有，
期待着高手给解答

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发表于 2010-4-16 16:49:44 | 显示全部楼层

电阻率=1/e.u.n
不知道是不是这个

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发表于 2010-4-16 20:04:30 | 显示全部楼层

磷硼的应该是分着算的吧，期待高手给出相应的关系式

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发表于 2010-4-16 20:06:21 | 显示全部楼层

磷硼和电阻率的关系有专门的计算尺，有色设计院很多人都有，国外有卖的

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发表于 2010-4-16 22:59:00 | 显示全部楼层

我也想了解一下学习了

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