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三氯氢硅如何提高合成液含量

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发表于 2012-4-6 08:27:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
三氯氢硅合成过程中合成液含量出现大幅波动,忽然一下子就下降了20~30个点,实在分析不出什么原因啊。求教各位高手帮忙指点迷津啊
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发表于 2012-4-6 08:32:25 | 显示全部楼层
先检查下反应参数的有没变化,再检查工艺流程有没有出现问题,再看设备有没故障
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发表于 2012-4-6 09:24:55 | 显示全部楼层
这个要看你的具体情况了。含量突然下降后是会回升还是一直这样?如果能很快回升,可能不是工艺的问题。如果不能回升,则一定是工艺有了状况了,或者是反应很差,或者是系统有泄漏等等。
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 楼主| 发表于 2012-4-6 21:30:32 | 显示全部楼层

fuwasi 发表于 2012-4-6 09:24

                                
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这个要看你的具体情况了。含量突然下降后是会回升还是一直这样?如果能很快回升,可能不是工艺的问题。如果 ...

不能很快回升,有时候过一段时间不知道什么原因又升上来了。可维持不了多长时间就又下降。系统查了一下应该是没有泄露。大侠再给详细分析分析呗,都快急死了,先感谢啊
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发表于 2012-4-6 09:24:00 | 显示全部楼层
其他成分是什么高了?三氯低了是四氯高还是什么?分析了么?
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发表于 2012-4-12 08:00:40 | 显示全部楼层
我们也出现过这样的情况,查找完了都没有发现问题,最后怀疑是分析色谱仪有问题。
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发表于 2012-4-12 11:07:19 | 显示全部楼层
人、机、料、法、环各方面都要分析分析。
是不是系统中进氮气了?
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 楼主| 发表于 2012-4-13 16:32:21 | 显示全部楼层

xiangxin521ll 发表于 2012-4-12 08:00

                                
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其他成分是什么高了?三氯低了是四氯高还是什么?分析了么?

三氯低了,四氯高了,反应温度不高,其他工艺控制点基本未变,实在分析不出原因,求教指点
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 楼主| 发表于 2012-4-16 07:48:41 | 显示全部楼层

287789398 发表于 2012-4-13 16:32

                                
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人、机、料、法、环各方面都要分析分析。
是不是系统中进氮气了?

系统中没有进氮气,有的时候通点氮气还会出现合成液含量略有上涨的意思,但不明显
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发表于 2012-4-12 08:00:00 | 显示全部楼层
先检查仪表,合成炉内反应床层是否发生了变化,造成局部温度过高引起四氯增加,另查查硅粉近期的含量波动,铝含量是否有明显的增加。
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