大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

还原炉压差控制

[复制链接]
发表于 2010-4-18 11:57:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问大家,控制还原炉蒸发器和还原炉内的压力差,对硅棒的生长有什么样的影响?在不改变氢气和TCS流量的前提下,压差的控制有什么样的实际意义?
回复

使用道具 举报

发表于 2010-4-18 18:45:38 | 显示全部楼层
这个问题好,值得关注!
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2010-4-19 09:09:27 | 显示全部楼层
不妨做个假设
如果控制还原炉操作压力不变,想改变(提高或者降低)蒸发器的操作压力,势必会影响TCS的汽化温度,保证进料组成和流量不变的情况下,进料的温度和压力势必改变。影响硅棒的生长。(影响肯定有,具体会长成什么样我不清楚了)
如果,控制蒸发器压力不变,改变炉子操作压力,大家知道,炉子的操作压力改变对硅棒的疏密度,形状都会有影响。
如果同时改变两个变量,影响肯定是有的。
我个人认为,控制压差的意义在于控制TCS+H2的组成和进料状态。
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2010-4-19 20:14:46 | 显示全部楼层
实际情况不是这样的,不是控制压力,而是压力差。即蒸发器与还原炉之间的压力差值,一般通过改变蒸发器与还原炉间的阀门开度控制。控制压力差我估计是为了保证气流的流速足够快,我想问下,是不是气流速度快的话硅棒生长就要致密些?在气流速度慢的地方硅棒生长就要疏松些?
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-12-26 10:52 , Processed in 0.047167 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表