多晶硅还原炉的操作规范

发表于 2008-8-2 15:42:45

那位兄弟手里有氢还原炉的操作规范？发上来共享下！

发表于 2008-8-2 21:32:10

建议你去咨询一下：
http://www.chinasilicon.net/bbs/?fromuid=62854
看是否能有人回应

发表于 2008-8-27 13:01:10

如果购进了还原炉，有随附操作手册。

发表于 2008-8-27 13:21:06

多谢二楼的！找到了一些有用的东西

发表于 2008-9-13 16:48:16

我觉得以后大家就不要发这样的贴子了,象这样的生产操作规程怎么可能有人这样上传到网上.如果有的话那最少要等二十年以后,就要现在的烧碱一样.

发表于 2008-11-11 02:23:25

1.装入硅芯，调校位置
2.关炉
3.进行打压测试，确保无漏气，安全阀检测。
4.检查循环水流速，压力
5.检查导热油温度，压力
6.抽空，送气15分钟以上，打开安全阀
7.确保压力在0.3Mpa
8.加电预热.
9.温度上升后控制气体流速，摩尔比。
10.调整电压，控制温度在1050°左右。
11.观察仪表检测出的尾气分析数据，并做出适当的调整。

发表于 2008-11-28 15:15:06

不同制造商的炉子，操作规程不一样

发表于 2008-12-3 19:47:34

都差不多的安全阀不用也行调节阀可控制抽真空--0.09Mpa就不漏了
氢气置换30分钟以上就可启炉

发表于 2008-12-11 20:17:46

确保压力在0.5Mpa，温度1150

发表于 2009-1-21 15:39:22

没啥神秘的大家不要把他神话了其实主要别泄露控制好温度压力冷却水还有通气量就行了主要在于计算和操作经验

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