多晶硅尾气的问题

应用变温吸附可将除氢以外的氯化物都脱除掉，现在技术已非常成熟，国内开发出的专用吸附剂性能甚至优于美国进口的吸附剂，吸附剂可作到不掉粉，在纸上搓抹不起划痕。

用变压吸收，变温分离最后回收利用啊

不回收的话，你们的成本，污染？？？？？？？担心啊！

即使干法回收效果很好也总是要有尾气排放的，不可能你吧所有的低沸物都打到罐子里去吧。顺带排出的物料其实并不多，在这上面做文章节约其实成本就得不偿失。喷淋吸收塔完全不必要用填料，用填料反而是自寻烦恼，一级不够你就再加一级。这样清洗很方便，可操作性才强。同时不建议在喷淋吸收塔用碱液吸收，因为这样有时会造成喷淋水温过高（反应太剧烈）同时硅酸盐会造成淋洗水粘稠，这样也会影响水温升高。总之应该把这个问题简单化，至于淋洗水完全可以另外引到污水处理站中和处理。

我们公司用的美国CDI公司的系统。后面的用碱液淋洗，淋洗塔一备一用，定期检修。

呵呵，我们公司也是用CDI系统，跟新光学的，只是淋洗塔设计不够合理，喷头容易堵！楼主的淋洗塔完全没必要用填料啊，直接空心塔淋洗就行了啊，一级不够再加一级，再不行就再加个液封罐后排空，基本就没问题了！

用喷淋塔塔就可以了，然后可以用变压吸附回收氯硅烷，同时还可以顺带提氢，回收氢气。
当然这样还是有部分废气产生的，这不可避免。