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电子级四氯化硅残夜的无害化处理方法

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发表于 2010-5-22 09:19:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
有客户想让我们帮忙处理,使用完的四氯化硅液体的残夜,该四氯化硅是用于电子行业多晶硅的制作,纯度比较高。
残夜的无害化处理能否用碱进行中和?工艺上要注意些什么,谢谢
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发表于 2010-5-22 10:21:43 | 显示全部楼层
四氯化硅纯度很高的话 还是有利用价值的
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发表于 2010-5-22 10:34:55 | 显示全部楼层
纯度高,可以用于生产白炭黑或氢化成三氯氢硅。
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 楼主| 发表于 2010-5-22 11:33:33 | 显示全部楼层
是残液噢,是一桶容器用完后剩下的残液。
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发表于 2010-5-22 16:59:22 | 显示全部楼层
我有很经济的处理方法,可以回收二氧化硅和氯化氢气体
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发表于 2010-5-22 19:38:00 | 显示全部楼层
当然可以用碱液综合,然后板框压滤成滤饼外运堆埋
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