生产过程的问题

发表于 2010-5-25 18:59:50

在多晶硅生产过程中，随着生产时间增加，硅棒的直径也增加。生产出的气相中的硅沿着硅芯沉积，但在横梁的位置沉积的硅绝大部分在横梁的下部。这到底是为什么？

发表于 2010-5-26 01:00:22

混合气到达顶部的气量太少

发表于 2010-5-26 09:23:05

顶上气少
加上温度不够

发表于 2010-5-28 15:25:36

还没见过还原炉，不了解

发表于 2010-5-28 22:04:24

我想主要有几个问题吧
1，从热力学考虑，在炉顶温度方面来考虑，在还原炉里，发热体（电极）在靠炉底的地方，越上越温度低，所以会沉积的少一点
2，从流体力学来考虑，物料气一进入炉内，会突然冲到炉顶，然后在喷下来，形成蘑菇状，到最后蘑菇的片会很薄，而物料多的地方应该是在横梁下面

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