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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 四氯化硅氢化
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四氯化硅氢化

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发表于 2010-1-24 03:48:24 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 181128425 于 2010-1-24 07:20 编辑
四氯化硅氢化炉的接地电阻主要起到什么作用？
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发表于 2010-5-29 10:21:42 | 显示全部楼层
我想主要还是起到防静电的作用吧，在氢化过程中会用到氢气，如果有明火，在氢气的爆炸极限内，很可能会发生着火或爆炸
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