油脂对多晶硅的影响

发表于 2010-6-7 21:14:36

实际证明系统中几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢，产量降低，甚至硅反应停止，原理是什么呢？

发表于 2010-6-15 10:20:48

油脂多，相对含碳量高，碳对还原时有影响的

发表于 2010-6-16 17:59:05

碳含量高只能影响多晶硅产品的质量，减少少子寿命，应该不会出现多晶硅反应速度减慢吧，所以楼主这个问题相当有水平，关注中

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册