TCS合成炉温度波动较大

发表于 2010-2-28 18:56:44

TCS合成炉温度波动较大，有哪些原因会造成这种情况，请教各位大侠！谢谢！

发表于 2010-3-1 10:37:03

可以从能量平衡的角度出发啊。
氯化氢的通入量、组分是否变化，硅粉的加入，冷却介质的循环量，

发表于 2010-3-1 11:48:08

炉温的问题，关键看你控制了，控制不好会在270到340之间，控制好310上下波动几度

发表于 2010-3-1 17:14:47

冷却水的通入量，氯化氢通入量，氯化氢的通入压力和流速，硅粉的干燥程度等。
如果氯化氢的通入不能够使硅粉充分沸腾，容易造成局部温度过高。

发表于 2010-6-23 11:07:53

除去这些因素，是不是还有其他因素呢？

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