三氯氢硅提纯过程中如何降低硼磷含量

发表于 2010-6-2 05:41:32

三氯氢硅中硼磷的存在形式是什么样的？在生产过程中，硼高加大排低，磷高了加大排高。

发表于 2010-6-2 12:29:46

概念有错误~B并不是全在低沸
P也并不都是全在高沸

发表于 2010-6-4 11:49:50

排的太多成本上来了！且硼不全是低，磷不全是高，形态也不稳定！～

发表于 2010-6-25 18:19:05

那到底应该如何降低啊？

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