温度要多高，硅才开始在炉壁上沉积？

本帖最后由 广东绿迷 于 2010-5-28 18:46 编辑
请教一下，温度要多高，硅才开始在炉壁上沉积？
我是指炉壁上的温度.

一般情况下在炉壁上是不会有硅沉积的，在温度低的情况下，在一些死角如炉壁、窥视孔、喷嘴、电极、底座垫、法兰顶、尾气出口等会出现硅油情况，一般是低温（低于300）下产生的油状物，为了避免硅油的产生，通常要采取以下措施：
1，严格控制还原炉冷媒的温度，在整个生产过程中使还原炉炉壁的温度始终保持在300～800℃的范围；
2，停炉前要降低还原炉冷媒（冷却水）的流入量，提高炉壁的温度，并严格按操作规程的要求对炉子“空烧”一段时间，使已形成的硅油挥发掉。
至于楼主所说的在炉壁上沉积硅，我想一般是不会的，有也应该是无定形硅，如果炉壁温度在900到1050之间的话很可能会产生无定形硅，如果真有多晶硅产生了，那么很有可能的冷介出了问题，那就应该做停炉处理了。
不知道我的回答楼主满不满意

不知道楼上的是不是还原的，炉内壁的温度我也没有测试过，不过我们这里曾经是有出现沉积硅粉的状况，当然不是晶体硅。出现这样的状况自我感觉要有两个条件，第一是温度太高，具体有多高我也没有测过，不过应该不会达到路上所说的900度吧。第二就是物料的进料量太大，远远大于硅棒的沉积需料量了。
不知道还有哪位高手有其他意见？

楼上说的有一定的道理，我们最近也是出炉时，炉壁上有一层黄色的东西，地盘上有时候有许多硅粉颗粒，就是不知道是如何产生的，希望有经验的老师们给说说。

600度以上容易在炉壁沉积无定形硅，一方面影响传热效果，一方面形成对炉内温度的漫反射，对硅棒生长和热量的充分利用有一定影响

温度好像各位有经验的前辈说的都不一样啊，那沉降的压力是多少啊？能透露一下吗？另外，“硅油”是液相的四氯化硅或者是什么呢？

楼上楼上，物料多