氢气进入合成炉的作用有那些？

发表于 2010-7-3 14:49:59

有谁知道氢气进入合成炉的作用有那些？是否安全。

发表于 2010-7-5 00:41:19

提高合成炉的收率，适当的氢气有利于硅粉与氯化氢的反应。

发表于 2010-7-5 13:01:34

据资料介绍：少量的氢气随氯化氢进入合成炉有利于合成反应的进行，多了的话就会抑制反应的转化率

发表于 2010-7-5 14:39:52

可以减少游离氯的存在，减小对设备的腐蚀，提高TCS合成的产率！

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