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一种没有四氯化硅排放的多晶硅生产法

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发表于 2010-7-3 21:18:44 | 显示全部楼层
没有什么新意,也就是把尾气四氯化硅用来还原生产多晶硅而已,转化效率不会太高,工业化生产的话效果应该不 ...
xiaoqing86 发表于 2010-6-29 20:52

                                
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    这不就是闭环生产吗?搞的很神秘的样子?
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 楼主| 发表于 2010-6-29 20:52:00 | 显示全部楼层
多晶硅上很多专利其实没有什么实际意义,看看而已,能给点启发也不错了
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