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二氯二氢硅含量多的话,对还原车间硅棒成长有什么影响?

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发表于 2010-6-27 07:44:00 | 显示全部楼层
个人觉得会抑制副反应,同时由于对三氯氢硅的稀释作用也会降低主反应的反应速度
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发表于 2010-6-28 13:24:25 | 显示全部楼层
我也听说二氯二氢硅能够促使反应,降低电耗,就是不知道具体的配比。
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发表于 2010-6-29 15:11:26 | 显示全部楼层
这个影响其实不好说的
小的话是有利的
大了就很危险
二硅是一把双刃剑
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发表于 2010-7-5 18:01:03 | 显示全部楼层
炉内容易产生硅粉
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发表于 2010-7-5 23:34:40 | 显示全部楼层
炉内容易产生硅粉
南希 发表于 2010-7-5 23:34

                                
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    能具体点吗?产生硅粉是在大量二氯二氢硅存在的情况下还是在少量二氯二氢硅存在的情况下?如何避免?
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发表于 2010-7-6 09:29:51 | 显示全部楼层
二硅循环成品硅含碳量升高
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