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还原炉开工的时候置换问题?

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发表于 2010-7-1 21:45:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原在每一次开炉过程中都要置换,那么置换过程的废气是怎么处理的呢?:loveliness: 还请各位高人指点,不胜感激。
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发表于 2010-7-1 22:46:48 | 显示全部楼层
废气,抽真空阶段的废气直接排空,其他时候去淋洗系统
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发表于 2010-7-2 01:16:47 | 显示全部楼层
开炉的时候要用N2置换空气,这时候直接排空,测含氧量;
然后用H2置换N2,就要通到淋洗了,测氢中氮氧含量;
停炉时,H2置换氯硅烷,通到淋洗;
然后用N2置换H2,到淋洗。测H2和氯硅烷含量,合格之后可以直接排空。
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发表于 2010-7-2 10:15:28 | 显示全部楼层
开炉的时候要用N2置换空气,这时候直接排空,测含氧量;
然后用H2置换N2,就要通到淋洗了,测氢中氮氧含量 ...
情合赢 发表于 2010-7-2 01:16

                                
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发表于 2010-7-2 01:16:00 | 显示全部楼层
回复 4# yxxyyx
这是我瞎想的啊,大概应该是这样吧。不知道哪位高手还有好办法啊?
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发表于 2010-7-2 11:17:24 | 显示全部楼层
启炉氢气置换后一般只检测露点
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 楼主| 发表于 2010-7-3 16:22:04 | 显示全部楼层
大家再讨论讨论,看还有新的方法吗?
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发表于 2010-7-9 20:10:18 | 显示全部楼层
开炉的置换 N2置换氧气 分析测露点 启动高压 击穿后  H2置换 N2 分析含N2             卤素灯预热 启动调功柜 击穿后 N2置换O2  合格后 H2置换N2    都是直拉排到 废气外理
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