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关于多晶硅棒酸洗的问题

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发表于 2010-7-12 20:08:33 | 显示全部楼层 |阅读模式
是不是酸液没有洗净?
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发表于 2010-7-13 08:17:57 | 显示全部楼层
清洗不彻底,生成的硅氧化层没有去除
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发表于 2010-7-13 12:27:49 | 显示全部楼层
是不是配比不对,HF酸量太多了。
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 楼主| 发表于 2010-7-13 18:06:14 | 显示全部楼层
回收蚀刻酸洗工艺中的氢氟酸过滤器,可以电话联系 13918693736
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