合成三氯氢硅时流速和压力如何保持

求各位高人指点，合成三氯氢硅时氢气和氯化氢和流速和流量，及压力如何保持？

不知你问的是冷氢化合成还是西门子合成。。。。
你加入氢气，应该是属于冷氢化技术了。
氢气和氯化氢的流量应该有一定的配比，压力属于设计范围。根据设计压力就行。
氢气和氯化氢的具体总流量应满足大于起始流化速度并小于气力速度。因为你的流化床数据我不知道，所以无法给出具体的数据。。。如方便，可以说说你的流化床的相关数据以及设计产能。