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讨论影响硅棒质量

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发表于 2010-4-10 08:47:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产有TCS合成,精馏,CDI,还原,后处理。大家讨论下影响硅棒质量的因素
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发表于 2010-4-10 14:50:38 | 显示全部楼层
料的纯度我感觉是最主要的,当然控制参数也是必须的
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发表于 2010-4-10 18:12:33 | 显示全部楼层
每道工序都可能影响多晶硅的质量问题,必须严格按照工艺指标控制!
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发表于 2010-4-11 15:52:05 | 显示全部楼层
精馏、还原以及回收时关键,合成虽能是重要,但它主要还是关系到成本问题。精馏不好,一切是白做,精馏做好了不等于就能生产成功。
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发表于 2010-4-27 17:16:42 | 显示全部楼层
3大工艺都已经很成熟,关键是提纯的料决定着硅棒产品的各项性质,如何辨别氯硅烷中B、P的存在形态是核心
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发表于 2010-4-28 14:05:11 | 显示全部楼层
精馏、还原以及回收时关键,合成虽能是重要,但它主要还是关系到成本问题。精馏不好,一切是白做,精馏做好了不等于就能生产成功。上面的人说的对呀。精馏使关键呀,塔关系到整个系统的纯度呀。
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发表于 2010-4-28 15:40:45 | 显示全部楼层
除杂最为重要吧,例如氢气中的氧氮,和三氯氢硅中的磷,硼等杂质。
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发表于 2010-7-14 22:00:52 | 显示全部楼层
反应温度、反应混合气配比、反应系统的压力、混合气体的流量、原料纯度、沉积硅的载体
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