装硅芯时间和启炉时间

发表于 2010-7-21 12:34:53

一炉硅芯装好，多长时间不启炉会造成硅芯氧化、会对多晶硅质量造成影响？如果是氮封，多长时间不启炉要重新装炉？
装硅芯时间应控制在多长时间合适？
希望大家献计献策！不甚感激！

发表于 2010-7-22 10:12:55

可以通氮气保压或者氮气一直吹扫就好了，放两三天没事

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